9月7日，广钢气体发布投资者关系活动记录表，其中一条信息值得气体行业留意。公司表示已在半导体项目实现超临界二氧化碳输送系统的商业化落地，这套系统主要服务于高端芯片制造的清洗工艺。
超临界二氧化碳清洗的原理，是让二氧化碳处在温度与压力都高于临界点的状态，兼具气体的渗透性与液体的溶解力，用来替代部分传统湿电子化学品，清洗效果更好，芯片良率随之受益。
从全球范围看，这项技术在海外半导体产线的应用已经较为普遍，国内目前只有少数头部芯片工厂采用，渗透率还处在早期。广钢气体在记录表中也提示，超临界二氧化碳业务的收入占比尚小，不宜放大单一产品对业绩的影响。
这条新闻背后还有一条主线。此前韩国曾因石化开工率下降出现高纯二氧化碳库存告急，液态货源价格较年初上涨约两成，先进制程的材料供应链脆弱性显露无遗。国内气体企业加快高纯与超临界产品的产能与认证布局，既是在补短板，也是在抢窗口。
对湖北本地的电子气体采购方，多一个国产供应选项，谈判桌上的分量就会不同。
另据行业梳理，金宏气体、凯美特气、华特气体的高纯二氧化碳产能在国内头部半导体客户中逐步放量，从普气到超临界的产品阶梯正在补齐，供应链的国产化路径越来越清晰。
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