实验室里一台用了两年的MFC，流量设定值没变，但下游反应釜的进料量明显不对了。拿去校准发现零点偏了好几个百分点。这种情况在气体管路里很常见，MFC的读数漂移属于设备物理特性，定期校准是正常运维的一部分。
MFC的核心是热式流量传感器。传感器旁路边绕着两个测温电阻，气体流过旁路时，上游电阻的热量被带走，下游电阻温度略低，两个电阻的温差和气体的质量流量成正比。这种测量方式直接反映质量流量，不受温度和压力波动影响，这是热式法比差压式优越的地方。传感器输出的温差信号经放大后和设定值比较，偏差信号驱动控制阀开大或关小，形成闭环控制。
MFC出厂时针对特定气体校准。不同气体的比热容、热传导系数和粘度不同，传感器的响应曲线也不同。一台标了氮气的MFC拿去测氩气，读数会偏差明显。换气体使用时要输入对应气体的修正系数，或者重新校准。很多实验室把MFC上贴的气体类型标签撕掉，混用后读数漂移，其实是气体系数设错了。
零点漂移是最常见的问题。MFC不通气时，理论上输出应该是零。但传感器在长期使用后，热敏电阻的阻值会随温度和时间缓慢变化，电路放大器的零点也会漂移。表现为零流量时输出不为零，小流量段读数偏高或偏低。零点漂移可以通过现场零点校准修正，关死上游阀门，等传感器稳定后在控制器上执行清零操作。漂移幅度超过满量程的百分之一，就需要送实验室重新做全量程校准。
传感器污染导致的漂移更麻烦。气体中的油污、颗粒或化学反应产物附着在传感器管壁上，改变了传热特性。表现为读数和实际流量的比值随时间变化，零点校准后用几天又偏了。这种污染没法通过软件修正，必须拆洗传感器。特气系统里MFC前一定要装精密过滤器，把颗粒和油分挡住，延长传感器寿命。
校准流程在实验室用标准流量计或皂膜流量计做。MFC串联在标准管路上，通已知流量的气体，对比MFC读数和标准表读数。在校准点从满量程的百分之五到百分之百均匀取五到七个点，每个点稳定后记录。偏差超过允许范围的点调整控制器内部的电位器或系数。校准后出具证书，标明校准气体、温度、偏差和不确定度。半导体行业的MFC通常每半年到一年校准一次。
安装方式也影响MFC精度。传感器对安装姿态敏感，倾斜安装时重力方向改变旁路中气体的流态，读数会有偏差。厂家通常要求按箭头方向水平安装，前后留足够长的直管段。管道振动会通过法兰传到传感器，引起读数抖动。振动大的场合要在MFC前后装挠性接头隔离。进气端压力波动也会影响，入口压力要稳定，波动不能超过额定范围的百分之十。
从维护角度，MFC的漂移是渐进的，不会突然暴增。把流量读数和工艺结果做长期对比，比如用MFC控制硅烷进气量和膜厚均匀性做相关性分析，就能在漂移影响产品质量之前发现问题。等产品批次出现波动才去查MFC，往往已经损失了好几批料。建立每台MFC的校准台账，按周期送检，是最省心的做法。
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