九月四日，联风气体高端电子特气国产化核心材料项目在重庆长寿经开区开工，总投资二点一二亿元。项目落地后将填补西南地区高端电子特气产能的空白，也把电子特气国产替代的话题再一次推到行业前台。
长寿经开区是重庆重要的化工和新材料产业集聚地，联风气体选在这里建厂，看中的是周边半导体和显示面板产业的用气需求。西南地区近年来晶圆制造和封装测试产能扩张较快，本地电子特气供应主要依赖东部厂家长途运输，物流成本高且交付周期长。本地产能投产后，辐射重庆和成都还有贵阳等城市的半导体产业集群，运输半径缩短到五百公里以内，应急响应速度会有明显提升。电子特气的运输本身就有特殊要求，钢瓶和储罐都要做特殊处理，长途运输中温度波动和振动都可能影响产品稳定性，本地化生产在质量保障上也有天然优势。
电子特气被称为半导体制造的粮食，占晶圆制造成本的比例虽然只有百分之十几，但纯度和稳定性直接影响良率。长期以来高端电子特气市场被海外厂商占据，国内厂家在中低端领域有一定份额，但5N以上超高纯品种和部分特殊气体仍依赖进口。随着半导体产业链自主可控上升为国家战略，电子特气的政策红利密集释放，国产化项目在各地加速落地。政策层面的支持不仅体现在补贴和税收优惠上，更重要的是下游晶圆厂在采购策略上开始主动引入国产供应商，给国产气体提供了验证和迭代的机会。
九月初这一周，行业里的动态不止联风气体一个项目。九月二日，中泰深冷交付了一套6N级超高纯甲烷精制成套设备，这套设备能把工业级甲烷提纯到六个九的纯度，用于半导体刻蚀和薄膜沉积工艺。同一天，泉州宇极宣布5N级六氟丁二烯实现稳定量产，六氟丁二烯是高深宽比刻蚀的关键气体，此前主要依赖进口。九月五日，宏芯气体的Pro-PN1200高纯制氮装置在嘉兴开机成功，这套装置采用变压吸附加纯化工艺，产出氮气纯度达到99.9999%以上，面向半导体和光伏行业。九月八日，侨源股份公告德阳空分一期和金堂三期四万等级空分项目转固，这两个项目主要生产氧气和氮气还有氩气，为周边电子和新能源产业提供大宗气体保障。短短一周内五个项目密集传出消息，从设备到气体再到空分，覆盖了电子气体产业链的多个环节。
把这些项目放在一起看，能读出几个趋势。一是国产替代从大宗气体向电子特气延伸，纯度等级从5N向6N突破，技术门槛在逐步攻克。二是产能布局从东部沿海向中西部扩散，靠近下游半导体产业集群建厂成为共识。三是设备国产化和气体国产化同步推进，中泰深冷的精制设备和宏芯气体的制氮装置都是上游设备自主化的体现。电子特气国产化不是一两个项目能完成的，需要材料和设备还有工艺以及检测全链条协同，但从近期密集的项目开工和量产消息来看，这个进程正在明显加速。对于下游半导体厂来说，国产供应商的增多意味着议价空间变大和供应风险降低，对于气体行业来说，谁能先通过晶圆厂的认证谁就能在这一轮国产替代中占住位置。
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