同一瓶高纯气，装在普通钢瓶和处理过的钢瓶里，到用户手里的纯度能差出一个数量级。这个差距来自内表面那层肉眼看不见的吸附膜。电子特气钢瓶为什么要做电解抛光和内壁涂层，答案就在这里。
钢瓶出厂内壁是热轧的，表面有氧化皮、划痕和游离铁。气体灌进去，水分和活性组分会吸附在这些缺陷上，随时间缓慢释放，一瓶标着六个九的气，放几天纯度就往下掉。更麻烦的是金属离子析出，铁、镍、铬离子进到超纯气体里，直接污染下游硅片。
处理是一步一步往上加的。先机械抛光，把宏观的氧化皮和焊疤打掉，表面粗糙度降到几个微米。再化学抛光，用酸液溶掉表层金属，把机械抛光留下的应力层和嵌砂去掉。到这一步还不够，电子级要求再上电解抛光EP。电解抛光把钢瓶内壁接阳极，在专用电解液里通电溶解微观凸起，表面像镜面一样平整，粗糙度Ra能压到零点二微米以下。内壁越光滑，吸附面积越小，气体驻留释放越快。
电解抛光解决了物理粗糙度，却解决不了化学反应。像三氟化氮、氯化氢、锗烷这类强活性气体，即使内壁再光，长期接触还是会和不锈钢发生缓慢反应，析出金属离子。这时要再上内壁涂层。常见两种，一种是二氧化硅涂层，通过气相沉积在瓶壁形成致密玻璃质层，阻隔金属基体；另一种是氟聚合物涂层，比如PFA内衬，靠氟材料的化学惰性把气体和钢壁隔开。活性气体钢瓶基本都要走涂层，惰性气体钢瓶做EP就够。
不同特气对内壁要求差别很大。惰性的氩、氮、氦，EP处理后直接用，成本低。半活性的硅烷、磷烷，EP加烘烤。强活性的卤族和氢化物，必须涂层钢瓶，而且涂层配方要和气体匹配，选错涂层材料反而引入新的析出物。钢瓶定期复抛，一般按使用次数或年限，涂层层要监控完整性，一旦划伤漏底就整瓶报废，不能补了继续用。
钢瓶处理完也不直接充气。充装前要抽高真空再回填高纯气，反复置换几次，把腔体内残留的水分和可挥发物降到很低，再充入正式产品气。活性气体充瓶后还要静置熟化，让内壁涂层和气体达到平衡再出厂，否则第一瓶气的纯度会漂。
钢瓶外层也要做标识，内壁处理状态、涂层类型、上次复抛日期都打在瓶肩标签上。同一规格的瓶，做过EP的和涂了PFA的不能混放，用错瓶纯度不达标还是小事，活性气体碰到不相容涂层可能直接反应。周转瓶每次返厂都要复检内壁，磕碰过的瓶即使外观没事也要重新测粗糙度，凹坑里藏的析出物擦不掉。
验收时不是看瓶外多亮，而是测内壁粗糙度和残留析出。Ra用内窥镜加粗糙度仪抽检，析出物用吹扫后测金属离子或颗粒度。一瓶处理到位的钢瓶，灌气后静置七十二小时，水分和颗粒指标不该有明显漂移。这项要求写进采购合同附件，静置不漂移才收货。
从热轧壁面到镜面EP，再到致密涂层，每多一道工序，就是在和吸附、析出这两个看不见的对手较劲。电子特气纯度的最后一段路，往往是在钢瓶内壁上走完的。
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