电子级5N高纯二氧化碳是半导体先进制程核心支撑材料,当前国内国产化率不足15%,本土企业已实现量产,助力半导体供应链自主安全。...
超高纯氧是半导体制造核心特种气体,国内正突破其提纯技术、布局产能,推进国产替代,保障半导体供应链安全。...
半导体制造核心耗材高纯氧关乎良率,应用于多制程,国内需求激增,国产替代加速,自主可控进程稳步推进。...