半导体材料 - 高纯气体

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电子级二氧化碳和普通工业CO2差在哪

电子级二氧化碳纯度要求4N8至5N5以上，水分低于1ppm金属离子低于10ppb，采用多级精馏吸附催化纯化工艺，316L EP钢瓶包装，用于半导体晶圆清洗等高端制程。...

2026-09-08 549