原子层沉积 - 高纯气体

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5N高纯氧 ALD氧化铝钝化层薄到原子级的盾牌

ALD氧化铝薄膜厚度以原子层计，每循环长0.1纳米。5N高纯氧气作为氧化剂，和铝前驱体交替通入腔体，生长致密钝化膜。文章给出沉积温度窗口、等离子体氧化参数和先进封装应用要点。...

2026-09-10 149