Micro LED巨量转移前的氧等离子清洗决定芯片与驱动基板的键合强度。5N高纯氧气纯度直接影响等离子体均匀性，氧中微量杂质引发表面碳污染和键合失效，本文梳理转移前清洗、转移后退火氧化与供气选型要点。...
