电子级二氧化碳水分低于1ppm对应露点零下70摄氏度,总金属低于10ppb高端低于1ppb,总烃氧气一氧化碳均低于1ppm,4N至5N5各等级对应不同限值,用露点仪GC-FID和ICP-MS检测。...
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解读GB/T14599高纯氧标准,解析其指标、检测规范及对行业生产、应用、市场的规范引导作用。...