管道盲端不参与主气流，残气滞留在里面，换气时置换不净，会持续污染输送的气体纯度。本文讲清死区形成机理与管路设计处置。...

气体管道流速选大了压降大终端压力不够，选小了浪费管材且杂质易沉积。一般工业管控制在10到15米每秒，高纯洁净管控制在3到6米每秒。文章给出选型方法、特殊气体限制与估算思路。...

氦质谱检漏灵敏度达10的负12次方Pa立方米每秒，空气中氦本底5.24ppm。常用喷吹法、真空法、正压法和累积法，电子特气管道泄漏率要求≤10负9次方，剧毒气体≤10负11次方，检漏后需氮气吹扫置换。...