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热氧化层
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热氧化层
5N高纯氧 MEMS加速度计制造的热氧化层工艺
MEMS加速度计的敏感结构靠热氧化层定义，氧化层厚度均匀性和残余应力直接影响零点漂移，5N高纯氧配合干氧湿氧工艺才能把片子做到微米级。...
2026-09-24
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