欢迎访问我的网站
  1. 网站首页
  2. TAG
  3. 特气系统

  • 第三代半导体GaN/SiC产线用气方案设计

    第三代半导体GaN/SiC产线用气方案涵盖大宗气体现场制气纯化与特气柜VMB管路系统。GaN MOCVD用氮氢载气加氨氮源，SiC高温氧化退火需超高纯氧氮，纯度5N以上压力0.5到0.8MPa。...

    2026-09-10 857