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  • 5N高纯氩 InP单晶生长压住铟磷分解

    InP单晶生长中磷蒸气压远高于铟，需高压氩气维持2到5兆帕抑制磷挥发。5N高纯氩氧含量要求低于1ppm，是光通信衬底制造的关键保护气。文章给出压力控制参数和供气系统设计。...

    2026-09-10 1765