超导量子比特采用铝氧化铝铝约瑟夫森结，制备涉及薄膜沉积光刻刻蚀和封装。5N高纯氮气用于刻蚀后腔体吹扫沉积保护气和封装惰性保护，封装在水氧1ppm以下的氮气手套箱中进行。文章给出钢瓶加终端纯化器的小用量...
