脑机接口柔性电极制造中，氧等离子清洗决定金属电极在聚酰亚胺基底上的附着力与阻抗。5N高纯氧气纯度直接影响刻蚀均匀性与表面活化质量，氧中微量水分和碳氢残留会造成刻蚀深度不均与接触电阻漂移，本文梳理等离子...
