6N级高纯二氧化碳纯度达99.9999%，打破海外垄断，适配半导体等高端制造，推动国内超纯气体领域自主升级。...
深冷精馏是高纯氮气制备核心技术，适配半导体等高端制造需求，优势突出、渗透率高，助力国内高端制造产业链自主可控。...
