电子特气采购验收需按制程节点设定指标，成熟制程5N总杂质10ppm，14到7纳米用6N压至1ppm，7纳米以下关键气上7N不超0.1ppm，金属离子和颗粒度逐项列明，检测方法与复检权写入技术协议。...
