国内实现高纯二氧化碳ppb级金属杂质控制技术突破，打破境外垄断，适配高端制造需求，助力高纯气体供应链自主可控与国产化替代。...
电子特气中金属杂质含量直接影响晶圆良率，ICP-MS和GD-MS是两种主流检测手段。ICP-MS采样灵活但记忆效应明显，GD-MS固体直接分析检出限更低。文章讲清原理与检出限。...
