电子级二氧化碳水分低于1ppm对应露点零下70摄氏度，总金属低于10ppb高端低于1ppb，总烃氧气一氧化碳均低于1ppm，4N至5N5各等级对应不同限值，用露点仪GC-FID和ICP-MS检测。...
