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  • 显示面板厂OLED蒸镀车间特气供气方案

    OLED面板厂低温多晶硅背板和蒸镀封装工序用到硅烷一氧化二氮氢气和大宗氮气，供气系统从气瓶柜到蒸镀腔体需分级纯化与尾气处理。文章给出面板厂特气与大宗气协同方案。...

    2026-09-11 1708