FZ单晶 - 高纯气体

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5N高纯氩区熔硅浮区里那一腔氩气

区熔法生长高纯度硅单晶靠浮区悬浮熔化，全程不接触坩埚。5N高纯氩气保护熔化区并控制压力，决定晶体碳氧杂质与生长条纹。本文讲压力曲线、纯度要求、起熔操作与条纹排查。...

2026-09-14 1416