特气柜排出的尾气含硅烷磷烷等危险气体，必须经Scrubber处理后排放。湿法靠液体吸收，干法靠吸附剂捕获，燃烧法靠高温分解。文章从原理、适用气体、维护成本和排放达标四个维度对比三类Scrubber。...
