电子特气减压阀不能用铜或碳钢材质,金属离子析出和催化分解会污染特气并引发安全问题,316L及316L EP不锈钢具有耐蚀低析出优势,腐蚀性特气需用哈氏合金或蒙乃尔材质,表面粗糙度有严格要求。
高纯气体管道特别是氧气管道必须脱脂去除油脂残留,否则高压氧气遇油脂会发生自燃爆炸,常用脱脂方法包括溶剂清洗蒸汽脱脂超声波脱脂,脱脂后用紫外灯蓝光检查确认无油脂残留。
气体纯化器主要有催化剂除氧除THC加热催化、分子筛变温吸附除水除CO2、锆铝合金getter金属吸气剂除活性气体、钯膜氢气选择性渗透四种类型,不同纯化器适用不同气体和杂质工况。
气体露点仪主要有冷镜式、电容式氧化铝和高分子薄膜电容三种类型,冷镜式精度最高可达正负0.1摄氏度适合零下80度以下极低露点测量,选型需考虑气体种类水分范围精度要求安装方式和成本。