管道装完了，焊口也做了外观检查，接下来要过氦质谱检漏这一关。很多施工方拿到图纸只知道要做检漏，但具体查到什么程度算合格，用哪种方法，现场经常吵。不同等级的管道系统，检漏率标准差了五个数量级，方法选错了要么浪费时间，要么漏过真正的漏点。
先把检漏率标准摆出来。电子特气管道系统的验收限值一般是不超过1乘以10的负9次方帕立方米每秒。剧毒特气如砷化氢、磷烷的管道更严，限值收到1乘以10的负11次方帕立方米每秒。大宗气体如氮气和氩气的主管线宽松一些，不超过1乘以10的负6次方帕立方米每秒就算合格。这些数值不是拍脑袋定的，它跟管道输送气体的毒性、经济性和工艺容忍度直接挂钩。
氦质谱检漏有四种常用方法，适用场景各不相同。喷吹法也叫吸枪法，把管道抽到负压，用喷壶在焊口和法兰外侧喷氦气，检漏仪接在管道抽气口端检测氦信号。这种方法最灵活，适合大管径和已安装完毕的管道系统。缺点是喷吹角度和距离影响灵敏度，漏点定位精度在5厘米左右。
真空法把整个管道放进真空罩里或者直接给管道抽真空，氦气从外部喷入真空环境，检漏仪接在管道内部端。灵敏度最高，能达到1乘以10的负12次方，适合剧毒特气管道和小口径不锈钢管的出厂检测。缺点是需要真空罩或整体真空环境，现场施工条件下不太好操作。
正压法反过来用。管道内部充入氦氮混合气，氦气浓度10%到25%，外部用吸枪法在焊口处扫描，检漏仪检测渗出的氦气。这种方法不用抽真空，施工方便，适合已经投入运行的管道在线检漏。但灵敏度比真空法低两到三个数量级，适合大宗气管道和对检漏率要求不高的场合。
累积法把一段管道两端封闭，内部充氦气，外面罩一个累积罩，经过一段时间后检测罩内氦浓度上升速率。适合大容积管道和长焊缝段的整体检漏，不用逐个焊口喷吹。缺点是累积时间长，通常要等一到两个小时才能出结果，而且只能判断整体是否合格，不能直接定位漏点。
检漏前的准备工作经常被跳过，直接影响检测结果。管道必须先吹扫干燥，用高纯氮把管道里的油污、水分和残留气体吹干净，否则这些杂质会在检漏仪离子源里沉积，造成本底噪声飙升。确认没有大漏也很重要，先用保压法或肥皂水检查明显漏点，把大漏处理完再上氦质谱，否则小漏点的信号会被大漏淹没。
现场常见问题有三个。第一个是背景氦干扰。车间里如果有人用氦气吹扫过别的设备，空气中残留的氦气会被检漏仪吸进来，本底值居高不下，小漏点完全被盖住。检漏前先通风三十分钟，确认本底值降到设备校准基线以下再开始。第二个是阀门内漏误判。检测到氦信号升高，以为管道有漏，实际上是截止阀阀芯密封不严，氦气从阀前窜到阀后。阀门要逐个隔断验证。第三个是温度影响。管道刚焊接完还带着余热，热胀冷缩会让密封面暂时微漏，等管道冷却到室温后再检漏，数据才可靠。
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