高纯气体管道特别是氧气管道必须脱脂去除油脂残留，否则高压氧气遇油脂会发生自燃爆炸，常用脱脂方法包括溶剂清洗蒸汽脱脂超声波脱脂，脱脂后用紫外灯蓝光检查确认无油脂残留。...
解析高纯氮气洁净管路的规范要求，梳理材质、连接、检测等核心要点，规避施工隐患，保障高端制造用气稳定与产品良率。...
