SiC和GaN晶圆器件产线气体采购分大宗气和电子特气两条线，大宗氮气氧气氩气氢气氦气走现场制气管道直供，硅烷氨气一氧化二氮磷化氢等特气钢瓶供应，纯度五个九到六个九。附分级采购方案、应急储备和连续供气保...
第三代半导体GaN/SiC产线用气方案涵盖大宗气体现场制气纯化与特气柜VMB管路系统。GaN MOCVD用氮氢载气加氨氮源，SiC高温氧化退火需超高纯氧氮，纯度5N以上压力0.5到0.8MPa。...
第三代半导体晶圆厂气体采购全清单，SiC热氧化用高纯氧离子注入用高纯氩，掺杂用硅烷磷化氢乙硼烷等电子特气，GaN MOCVD用高纯氮高纯氢载气及氨气氮源。详解大宗气现场制气与特气钢瓶供应的分级采购方案...
电子级高纯氧气是电子制造关键特种气体，当前国内自主供应占比提升，仍需补全全链路管控等短板，需求随产业升级高速增长。...