一条SiC或GaN产线的气体采购单，要把大宗气和电子特气分成两张完全不同的账。大宗气讲管道、讲长期照付不议，特气讲钢瓶、讲纯度和安全。采购清单搭得好不好，直接影响产线能不能连续跑起来。
大宗气这一头，氮气、氧气和氩气来自空分，氢气靠现场制氢或外购液氢，氦气则几乎全靠进口或进口液氦汽化。SiC热氧化用高纯氧，退火和离子注入用高纯氩和高纯氮，GaN的MOCVD外延把高纯氮当主载气，高纯氢同时承担载气和还原气。这五种气用量大，产线达到一定规模后几乎都走现场制气加管道直供，气体公司在厂内建装置，按年度合同供气，气量用照付不议条款锁定。
电子特气这一头品种多、量小、纯度高。硅烷用来做外延和薄膜沉积，氨气做氮源，一氧化二氮参与氧化膜生长，磷化氢和乙硼烷分别做n型和p型掺杂源，三甲基镓和三甲基铝这类MO源虽然常温液态，也纳入特气柜统一管理。这些特气的纯度普遍要到五个九到六个九，关键掺杂品种还要更高，金属离子和颗粒度按ppb级控制。钢瓶供应为主，部分进口品种交货期长达半年，库存和双来源策略必须提前布局。特气柜和二次配管要做到316L EP内壁和自动焊接，把颗粒和金属污染压到最低。
分级采购方案是这张清单的骨架。大宗气走现场制气长约，配套液氮后备储罐和备用汽化器，检修期间仍能维持七十二小时以上供应。特气走钢瓶合同，关键品种保持至少两周安全库存，单一来源的进口特气另外签备用供应商。MO源和剧毒特气还要单独评估安全库存和补货节奏，因为一次错峰就可能停线。采购方在评标时把大宗气和特气分成两个标段分别谈，价格条款和考核指标也各自单列。
气体进厂的验收环节不能省。大宗气管道在线装纯度和露点分析仪，关键特气每瓶随货带COA，采购方抽检金属离子和颗粒度。特气柜到货后要做吹扫、检漏和纯度标定，确认二次配管没有泄漏和污染才能通气。这些验收记录纳入供应商考核，连续两批指标不合格就要启动备用供应商。
从成本结构看，大宗气单位成本低但用量大，合同金额主要在年度照付不议量上。电子特气单位成本高但用量小，金额分散在几十个品种上。采购方做预算时要把两类气分开估，大宗气按用气量乘以单价，特气按品种乘以瓶数和瓶价，再加上备用库存的资金占用。这样做年度采购计划时才不会出现大宗气估准了、特气漏算的情况。
供应连续性在第三代半导体厂里是顶格要求。停气不像普通工厂那样只是减产，整批在制品晶圆可能直接报废，一片六英寸SiC晶圆的加工成本数千元，一次停气事故的损失很容易超过全年气体预算。采购方在合同里要把供气中断的责任、应急响应时间和备用气源方案写细。国产替代这两年在特气上推进很快，二氯二氢硅等品种国产化率已经过半，新产线引入国产特气时要走完小批量验证，比对纯度、颗粒和金属离子指标合格后再逐步放量。
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