脱水烘焙 - 高纯气体

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5N高纯氮脱水烘焙后晶圆最怕路上回潮

晶圆脱水烘焙赶走表面结合水后，若直接在空气中冷却，表面会重新吸附水汽，等于白烘。5N高纯氮露点低于零下七十度用于冷却腔和传输腔吹扫。本文讲换气流量、接触角验证与各腔体露点维护。...

2026-09-14 1009