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  • 超高真空腔体为何要烘烤 腔壁放气是最大对手

    真空度抽到10的负5次方帕就卡住,多半是腔壁在放气。不锈钢表面吸附的水分子解吸能落在80到92千焦每摩尔,常温释放极慢。把腔体加热到150到250摄氏度烘烤24到48小时,放气率可降两到四个数量级。文...

    2026-09-10 992