第三代半导体GaN外延片采用MOCVD生长，5N高纯氮同时承担载气和保护气双重角色。本文详解生长温度区间、氮气携带MO源的流量控制、氧氮杂质导致的施主掺杂和LED效率下降机理，以及现场制氮纯化方案与氢...
