供应商随货附来的COA报告写着纯度99.9999%，采购方IQC拿到手的第一件事，是核对检测方法和检出限。数字本身没有意义，用什么方法测出来的、检出限到什么级别，才决定这个数据能不能信。
主成分纯度的检测靠气相色谱。TCD热导检测器适合测无机气体，FID氢火焰离子化检测器对碳氢化合物敏感，这两种是常规配置。高纯级别的电子特气要用GC-MS或者PDHID脉冲放电氦离子化检测器，PDHID对永久性气体的检出限能到ppb级，是衡量高纯气体杂质的主力设备。采购方看COA时要确认检测方法一栏写的是什么，只用TCD测出来的6个9纯度，数据可信度要打折扣。
金属杂质用ICP-MS电感耦合等离子体质谱来测。这台设备的检出限能到0.1ppb以下，可以同时分析铁铜镍钠钾锂等多种金属元素。电子特气里的金属杂质直接影响半导体器件的良率，所以这一项是必检指标。采购方要求供应商在COA上列出每种金属的具体数值，只写未检出是不够的，必须标明检出限是多少。
阴离子和酸性杂质走离子色谱IC。HF和HCl这类酸性杂质对气路系统和晶圆都有腐蚀风险，IC的检出限能到ppb级，是测这类杂质的标准方法。水分检测用冷镜式露点仪，零下100摄氏度的露点对应水分含量约10ppb，这是电子级气体的常见要求。电容式传感器虽然方便，但容易漂移，采购方更认可冷镜式的读数，而且要求露点仪的校准记录在有效期内。
颗粒度用激光颗粒计数器检测，关注0.1微米以上颗粒的数量。颗粒会造成晶圆表面缺陷，在先进制程里这项指标卡得很严。取样时要注意吹扫时间，管路里残留的颗粒会干扰检测结果，吹扫充分后的数据才有效。在线监测方面，FTIR红外光谱适合氨气、硅烷、三氟化氮这类气体的实时浓度监控，能在生产过程中持续追踪纯度变化。
采购方评估供应商检测能力时，核心是看检出限能不能满足合同要求。合同里写的杂质限值如果是1ppb，供应商的检测方法检出限必须低于1ppb，否则测出来的数据没有判定意义。第三方复检是采购方的重要手段，选择复检机构要看有没有CMA和CNAS资质，这两个资质代表检测机构的能力得到了官方认可。复检方法要和合同约定一致，避免因为方法不同导致数据没有可比性。
检测数据的可信度建立在方法、设备和人员三重保障上。采购方验收时不能只看COA上的数字，要追着问检测方法是什么、检出限多少、设备什么时候校准的。把这些问题问清楚，才能判断这批气的纯度数据是不是真的达到了合同要求。
供应商的检测能力还要看历史数据的一致性。采购方可以要求供应商提供最近半年的检测数据汇总，看同一产品不同批次的杂质波动范围。如果某一项杂质的数据一直在限值附近徘徊，说明供应商的工艺余量不足，一旦原料或者环境有波动就可能超标。这样的供应商在分级管理里要往后排，采购份额也要相应控制。检测能力审核和供应商验厂结合起来做，现场看设备、看记录、看人员操作，比单独看一份COA报告有说服力得多。
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