六氟化钨这个品种,熟悉半导体制造的人都知道它的位置。它是钨塞和金属化沉积工序的关键材料,晶圆上接触孔和通孔的钨填充,靠的就是 CVD 工序里通入六氟化钨,在高温下分解出钨原子沉积在孔壁。9月15日,e公司转引证券时报的报道,中船特气披露六氟化钨已经成为公司核心增长极,报告期内这个品种的营业收入同比增长接近三倍,截至期末公司拥有每年两千吨六氟化钨的产能。

先把这个品种说清楚。六氟化钨常温下是气体,腐蚀性强、毒性不低,生产和灌装的技术门槛不低。它在晶圆制造里的用量,和先进逻辑工艺以及存储芯片的产能直接挂钩。随着晶圆线宽往下走,每片晶圆上的钨塞数量和层数都在增加,六氟化钨的单耗也跟着往上走。国内这几年晶圆厂扩产,存储和逻辑两条线都在拉产能,六氟化钨的需求是实打实的增量。
营收同比增长近三倍这个数字,放在半导体材料行业里是相当跳的增速。中船特气把六氟化钨列为核心增长极,说明公司内部对这个品种的战略权重在往上调。两千吨的年产能,在国内六氟化钨供应盘子里已经是头部规模。过去这个品种主要靠海外厂商供应,国内能稳定批量供货的厂家不多,中船特气这一轮放量,等于把国产化率往前推了一大步。
从产品结构看,六氟化钨之外,中船特气的产品线还覆盖高纯氨、三氟化氮、三氟化氯以及六氟丁二烯等多个电子特气品种。这些品种都围绕半导体刻蚀和沉积工序做文章,客户高度重叠。公司把六氟化钨做成核心增长极,背后是产品线协同,同一个晶圆厂客户,一家供应商能供多个关键特气品种,客户的认证和管理成本都低,供应商的份额也更容易做上去。这种组合供应的打法,比单品种单打独斗在客户那里的粘性高得多。
两千吨产能能不能跑满,还要看下游晶圆厂的排产节奏。国内晶圆厂这两年产能爬坡的速度不慢,但先进制程的良率和需求释放有个过程。六氟化钨的产能投放要和客户验证节奏匹配,盲目扩产然后压库存,是材料厂商经常踩的坑。中船特气这一轮披露,强调的是营收和产能同步增长,说明量价关系相对健康,不是单纯堆产能。如果后续先进制程放量顺利,这两千吨产能还会进一步被喂饱。
对国内整个电子特气行业来说,六氟化钨这个品种的国产化突破有示范意义。它技术门槛不低、客户认证周期长,一旦通过验证,替换粘性很强。中船特气跑通这个品种之后,其他厂商跟进的门槛也在抬高。下游晶圆厂在采购时,多了一家国产主力供应商,议价和保供都多了一层保障。
9月15日这条披露,表面上是一家公司的业绩数据,实际上折射的是国内电子特气在关键品种上的国产化进度。六氟化钨从被海外垄断到国内厂商做到两千吨产能,用了不短的时间。接下来要看的是这个品种在更先进制程上的验证进展,以及产能利用率能不能稳定在高位。
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