电子特气管道铺完，能不能通高纯气，和外观好不好看关系不大，关键在几道硬指标的验收。一条几百米的管道，焊接几百道口，钝化做没做到位，最后都落在粗糙度、漏率、颗粒度这三组数字上。
焊接第一关。电子特气管线一律用自动轨道氩弧焊TIG，不能手工焊。轨道焊枪围着管子转，参数由程序控制，保证一圈焊缝均匀。要求单面焊双面成形，管子内壁那一面不能有未焊透、塌陷和氧化色。为什么强调内成形，因为管内表面直接接触气体，焊缝内壁氧化生成的碎屑和氧化膜，就是颗粒度和金属析出的源头。焊前管子要充氩气保护，把管内空气赶干净，熔池在惰性气氛下冷却，内壁才不会发黄发蓝。管材选316L不锈钢，内壁电解抛光，管径按流量和压降算，焊工要有轨道焊资质，每道焊口打编号牌。
焊缝检测第二关。每道焊口先内窥镜拍照，看内壁成形有没有氧化色、凸瘤、未熔合。关键焊口再上射线探伤RT，查内部气孔和裂纹，拍片记录随工程走。整段管道最后做氦质谱检漏，这是总把关。检漏时管内抽真空，外面喷氦气，漏率要测到十的负九次方帕立方米每秒量级。这个量级意味着整条管道的泄漏几乎可以忽略，半导体级要求通常卡在这里。任何一处超标，就得找漏点、补焊、重检。试压和气密性试验用干燥氮气做，保压二十四小时压降合格才进入下一道。
整段管道除了焊口，弯头和三通的内壁也是薄弱处。轨道焊在直管段好控制，到弯头和变径处参数要单独调，焊工要试焊出样件确认成形。内窥镜检查时这些部位重点拍照存档，内壁粗糙度过不了就换件重焊，不能拿砂纸磨一下了事，打磨产生的铁屑比原来的氧化层还麻烦。
钝化第三关。焊接结束、验收合格前，管道内壁要做钝化处理。常见做法有几种，电解抛光EP把内壁粗糙度压到零点三微米以下，和钢瓶一个道理；化学钝化用硝酸或柠檬酸在表面生成一层稳定钝化膜，抗腐蚀；真空烘烤在高温高真空下把吸附的水分和可挥发物赶出来。电子特气主管线往往EP加烘烤一起上，先抛光再除气。钝化做得好不好，直接决定管道投用后需要多长时间才能把本底吹下来。
验收指标卡三组。粗糙度Ra小于零点三微米，用电镜或粗糙度仪抽检弯头和焊缝处。漏率小于十的负九次方帕立方米每秒，氦质谱全段测。颗粒度小于零点一微米，在终端通气后用粒子计数器测气体出口，连续几个小时颗粒不超标才算合格。这三组数字缺一个，都不算交钥匙。
施工单位往往盯着焊缝外观和试压，验收方要盯住内壁和漏率。试压用的是压缩空气或氮气，过不了颗粒这一关。管道隐蔽前的内窥镜和钝化记录，要一份份留底，日后出问题能追溯到具体焊口。
焊接成形、焊缝检测、钝化处理，三道关口下来，一条电子特气管线才算具备通入六个九气体的资格。指标写进合同，验收一项项过，比事后返工划算得多。钝化和烘烤这一步省了，投用后吹一个月都未必干净。
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